真空燒結(jié)爐的真空技術(shù)熱處理工藝
一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下,空氣中含有21%的氧氣。當(dāng)真空燒結(jié)爐在抽真空的過程中,真空燒結(jié)爐爐膛內(nèi)的氧氣壓力逐步降低。不同的真空水平,取決于不同的真空范圍。當(dāng)真空燒結(jié)爐處于真空狀態(tài)時(shí),也可通入高純氣氛。這也是真空燒結(jié)爐的另一個(gè)特點(diǎn),可通入惰性氣氛和反應(yīng)氣氛。
空氣中的各種混合氣體作無規(guī)則的運(yùn)動(dòng),撞擊真空燒結(jié)爐爐內(nèi)壁。因此會(huì)有個(gè)力
(F)作用于表面(A),得到一個(gè)壓強(qiáng)(P)。這個(gè)壓強(qiáng)取決于溫度。真空燒結(jié)爐溫度越高作用力越大,溫度越低越小。根據(jù)開爾文絕對(duì)0度(-273攝氏度)時(shí),壓強(qiáng)為0。因?yàn)檫@時(shí)的粒子不再動(dòng)。 T°C = TK - 273 °C
一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓和室溫條件下,真空燒結(jié)爐爐膛內(nèi)外力是平衡的。如果達(dá)到真空條件后,氣氛產(chǎn)生的表面作用力,符合下列等式:
壓強(qiáng)的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)單位稱作帕斯卡。 如 今 方 便 的 用mbar毫巴作為真空單位。這個(gè)單位經(jīng)常被使用,1 mbar = 100 Pa。
如今許多熱處理工藝需要在真空燒結(jié)爐的真空條件下進(jìn)行。如真空冶金,退火,晶體生長(zhǎng),釬焊、真空釬焊和其他工藝,都必須結(jié)合真空技術(shù)和熱處理工藝。為了達(dá)到這個(gè)目的,樣品必須放在密閉的環(huán)境中。如氣密管式爐工作管,氣密氣氛盒,真空燒結(jié)爐,或氣密水冷層。這樣空氣被盡可能地抽出,降低氧氣含量,樣品不容易被氧化。除此之外,1800攝氏度以上的真空燒結(jié)爐熱處理過程中,降低氧含量也是為了防止加熱元件和保溫材料被氧化??梢蕴峁┎煌N類的氣體混合氣氛,如氮?dú)?,氧氣,氬氣及其他含量很低的氣體。