真空泵在真空燒結(jié)爐中的應(yīng)用及選型

在某些真空燒結(jié)爐中的真空應(yīng)用中，需要進(jìn)入10-1Pa范圍，這對羅茨泵的二級機(jī)組往往難于實(shí)現(xiàn)，而使用二級羅茨泵串接的三級機(jī)組可使真空燒結(jié)爐中真空度提高一個數(shù)量級而進(jìn)入10-1Pa，所以真空燒結(jié)爐的中真空應(yīng)用也常用三級機(jī)組。由于分子增壓泵在10-1Pa可以滿抽速，所以亦可以在三級中真空機(jī)組中取代兩級羅茨泵。一般地講，真空燒結(jié)爐長時間工作在中真空的低端壓力范圍的羅茨泵，分子增壓泵可以完全取代。而真空燒結(jié)爐長時間工作在中真空高端壓力范圍的羅茨泵相對而言應(yīng)該較少，因為這一壓力范圍前級泵往往還具有強(qiáng)勁的抽速。

真空燒結(jié)爐中不同的真空系統(tǒng)要求的真空度不同。因此往往必須由一套真空機(jī)組來完成，即由工作在不同壓力范圍的真空泵串接起來。高真空一側(cè)的真空泵能達(dá)到系統(tǒng)要求的真空度，而低真空一側(cè)的真空泵是直排大氣的。顯然最簡單的真空機(jī)組就是一臺直排大氣的真空泵。但高真空系統(tǒng)一般需要三級機(jī)組，中真空一般需要二級機(jī)組。

對于較大型的高真空燒結(jié)爐設(shè)備，也可適當(dāng)加強(qiáng)前級泵的預(yù)抽能力，進(jìn)一步縮短抽氣時間，由于預(yù)抽時間與整個排氣過程相比很短，所以真空燒結(jié)爐前級泵的使用時間也很短，因此可以兼作多套設(shè)備的預(yù)抽作用，而這往往是非?，F(xiàn)實(shí)的。這就使規(guī)?；瘧?yīng)用的真空機(jī)組得到大大的簡化。