設(shè)備用途：本設(shè)備為臥式雙開(kāi)門(mén)的高真空燒結(jié)爐，多溫區(qū)加熱，高溫區(qū)制備，低溫區(qū)氣相沉積收集。可實(shí)現(xiàn)多批次出料。適用于一氧化硅等材料的高溫制備及收集。

針對(duì)該類(lèi)產(chǎn)品的大型化發(fā)展，有超大、超長(zhǎng)規(guī)格爐型可供選擇，并配有安全可靠的進(jìn)出料車(chē)系統(tǒng)。

該設(shè)備的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，設(shè)計(jì)及制造符合相應(yīng)的國(guó)家及行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范，能夠滿(mǎn)足用戶(hù)的特殊使用要求。設(shè)備配套產(chǎn)品和元器件能夠適應(yīng)長(zhǎng)期、穩(wěn)定、安全、可靠的生產(chǎn)需求。設(shè)備的節(jié)能效果好。使用、操作、維修方便簡(jiǎn)捷，造型美觀，安全可靠，售后服務(wù)優(yōu)良。

設(shè)備的功能、配置及系統(tǒng)組成：

此設(shè)備由爐殼、加熱室、真空系統(tǒng)，充放氣系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、氣動(dòng)系統(tǒng)、電控系統(tǒng)等組成。

高真空高溫?zé)Y(jié)爐爐體：

爐子結(jié)構(gòu)形式為臥式前后開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)，采用雙層夾壁水冷結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，內(nèi)外層及法蘭采均采用304不銹鋼板，爐體內(nèi)所有金屬結(jié)構(gòu)件均采用不銹鋼；爐內(nèi)所有金屬結(jié)構(gòu)件及外圍水管均采用不銹鋼；前后爐門(mén)保溫層采用氣缸推拉開(kāi)關(guān)門(mén)結(jié)構(gòu)。