設(shè)備用途:本設(shè)備為臥式雙開門的高真空燒結(jié)爐,多溫區(qū)加熱,高溫區(qū)制備,低溫區(qū)氣相沉積收集??蓪崿F(xiàn)多批次出料。適用于一氧化硅等材料的高溫制備及收集。 針對該類產(chǎn)品的大型化發(fā)展,有超大、超長規(guī)格爐型可供選擇,并配有安全可靠的進出料車系統(tǒng)。
該設(shè)備的結(jié)構(gòu)設(shè)計合理,設(shè)計及制造符合相應(yīng)的國家及行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范,能夠滿足用戶的特殊使用要求。設(shè)備配套產(chǎn)品和元器件能夠適應(yīng)長期、穩(wěn)定、安全、可靠的生產(chǎn)需求。設(shè)備的節(jié)能效果好。使用、操作、維修方便簡捷,造型美觀,安全可靠,售后服務(wù)優(yōu)良。
設(shè)備的功能、配置及系統(tǒng)組成:
此設(shè)備由爐殼、加熱室、真空系統(tǒng),充放氣系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、氣動系統(tǒng)、電控系統(tǒng)等組成。
高真空高溫?zé)Y(jié)爐爐體:
爐子結(jié)構(gòu)形式為臥式前后開門結(jié)構(gòu),采用雙層夾壁水冷結(jié)構(gòu)設(shè)計,內(nèi)外層及法蘭采均采用304不銹鋼板,爐體內(nèi)所有金屬結(jié)構(gòu)件均采用不銹鋼;爐內(nèi)所有金屬結(jié)構(gòu)件及外圍水管均采用不銹鋼;前后爐門保溫層采用氣缸推拉開關(guān)門結(jié)構(gòu)。